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產品詳情
  • 產品名稱:區域提純爐

  • 產品型號:CY-MT1200-50IT(*高溫度1200℃)
  • 產品廠商:成越科儀
  • 產品文檔:
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簡單介紹:
該區域提純爐主由:高溫梯度爐、真空爐管、真空法蘭、電子真空計、質量流量計、分子泵組、直線導軌、速度控制器等重要部件構成。區域提純爐廣泛用于半導體鍺、硅提純還可以用于金屬、金屬間化合物提純。
詳情介紹:

該區域提純爐主要由:高溫梯度爐、真空爐管、真空法蘭、電子真空計、質量流量計、分子泵組、直線導軌、速度控制器等重要部件構成。廣泛用于半導體鍺、硅提純還可以用于金屬、金屬間化合物提純。

主要技術參數:

工作溫度:1200

爐管長度:1200mm

爐管直徑:50mmm

爐管厚度:5mm

密封方式:不銹鋼真空法蘭

真空度:1.0X10E-3Pa

流量計類型:質量流量計

氣體流量:100SCCM、200SCCM500SCCM

載料舟長度:200mm

移動速度:160mm/60min(可根據實際要求調節)

溫度控制:50段可編程控制

控制系統:全電腦程序控制

豫公網安備 41019702002438號

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