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產品詳情
  • 產品名稱:桌面型雙靶磁控鍍膜儀

  • 產品型號:CY-MSZ210-I I -DCDC-SS
  • 產品廠商:成越科儀
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簡單介紹:
CY-MSP210S-RFD桌面型雙靶磁控鍍膜儀。設備經過小型化設計,在保留高真空不銹鋼腔體的同時,精簡了其他機構,將設備外形限制在了桌面級別,大大減少了安裝場地需求。設備配有一個直流電源一個射頻電源,直流靶可用于金屬及其他導電材料的濺射,射頻電源可用于各種非金屬和金屬氧化物等的濺射。設備真空系統采用全進口真空泵,抽氣速度快,極限真空度高,真空性能優異。本設備結構緊湊功能完善便于使用,非常適合用于各類鍍膜試驗。
詳情介紹:

技術參數:

產品名稱

桌面型不銹鋼腔體雙靶磁控鍍膜儀

產品型號

CY-MSZ210-I I -DCDC-SS

樣品臺

外形尺寸

φ100mm

加熱溫度

500

可調轉速

20rpm

磁控靶槍

配兩支兩英寸磁控靶,靶材尺寸:直徑50.8mm,厚度≦3mm

真空腔體

腔體尺寸

φ210mm X260mm

觀察窗口

全向透明

腔體材料

304不銹鋼

開啟方式

上蓋拆卸式

真空系統

前級泵

低噪音雙極旋片泵

分子泵

低噪音大抽速渦輪分子泵

真空測量

復合真空計,量程:10-5~105Pa

抽氣接口

KF16

抽氣接口

KF40

排氣接口

KF16

系統真空

1.0×10-4Pa

供電電源

AC 220V 50/60Hz

抽氣速率

分子泵抽速600L/s,前級泵抽速1.1L/s 

電源配置

電源數量

直流電源兩套

輸出功率

500W

其他參數

供電電壓

AC220V,50Hz

整機功率

4kW

整機尺寸

550mm X 350mm X900mm


豫公網安備 41019702002438號

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