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四探針測試儀是運用四線法測量原理的多用途綜合測量裝置，配上專用的四探針測試架，就可以測量片狀，塊狀或柱狀半導(dǎo)體材料的徑向和軸向電阻率，測量擴(kuò)散層的薄層電阻（亦稱方塊電阻）。四探針測試架有電動，手動，手持三種可以選配，另外還配有四個夾子的四線輸入插頭用來作為測量線狀或片狀電阻的 中，低阻阻值.
四探針測試儀（Four-Point Probe）是一種用于測量材料電阻率（resistivity）和薄層電阻（sheet resistance）的高精度儀器，尤其適用于半導(dǎo)體、薄膜、導(dǎo)電涂層等材料的電學(xué)性能測試。其核心作用是消除接觸電阻和引線電阻的影響，從而獲得更準(zhǔn)確的測量結(jié)果。
典型應(yīng)用場景：
半導(dǎo)體行業(yè)：硅片、GaAs等晶圓的電阻率測試。摻雜工藝后的電學(xué)性能驗證。
薄膜材料：ITO（透明導(dǎo)電膜）、太陽能電池薄膜、金屬鍍層的薄層電阻測量。
科研領(lǐng)域：納米材料（石墨烯、碳納米管）、有機(jī)半導(dǎo)體材料的導(dǎo)電性分析。
工業(yè)生產(chǎn)：液晶顯示（LCD）、柔性電路（FPC）的導(dǎo)電涂層質(zhì)量控制。
四探針測試儀技術(shù)參數(shù)：
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產(chǎn)品名稱 |
四探針測試儀 |
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產(chǎn)品型號 |
CY- SZT |
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測量范圍 |
電阻率 |
10??-105?-cm |
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方塊電阻 |
10??- 105?/□ |
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電阻 |
10-?- 105 ? |
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可測半導(dǎo)體材尺寸 |
直 徑 |
Ф15-100mm |
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長（或高）度 |
≤400mm |
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測量方位 |
軸向，徑向均可 |
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數(shù)字電壓表 |
量程 |
20mV,200mV,2V |
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誤差 |
±0.5%讀數(shù)±2字 |
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輸入阻抗 |
>10?? |
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分辨率 |
10μV |
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點陣液晶顯示 |
過載顯示 |
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恒流源 |
電流輸出 |
共分10μA,100uA,1mA,10mA,100mA五擋可通過按鍵選擇，各擋均為定值不可調(diào)節(jié)，電阻率探頭修正系和擴(kuò)散層方塊電阻修正系數(shù)均由機(jī)內(nèi)CPU運算后，直接顯示修正后的結(jié)果 |
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誤 差 |
±0.5%±2字 |
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四探針測試頭 |
探 針 間 距 |
1mm |
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探針機(jī)械游移率 |
±1.0% |
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探 針 材 料 |
碳化鎢(或高速鋼),Ф0.5mm |
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電 源 |
交流 |
220V±10% |
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功耗 |
<35W |
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